System EVA300 jest zaprojektowany i przeznaczony do zastosowań R&D. Posiada komorę reaktora wykonaną za stali nierdzewnej, zaadaptowaną zarówno do procesów rozpylania magnetronowego, jak i termicznego naparowywania próżniowego. Wykorzystanie pompy o dużej wydajności pozwala zredukować czas odpompowania, a zatem zoptymalizować wydajność systemu. Konstrukcja jaką zastosowano w EVA300 umożliwia dodanie dodatkowych funkcji w dowolnej chwili.