MERIDIAN to system próżniowy bazujący na napylaniu w polu magnetycznym wspomaganym plazmowo (Plasma Assisted Reactive Magnetron Sputtering).

To skuteczny system szybkiego osadzania precyzyjnych powłok optycznych do szerokiego zakresu zastosowań. System MERIDIAN pozwala uzyskać cienkie warstwy różnorodnych materiałów z dużą dokładnością i doskonałą jakością. Sterowanie optyczne pozwala na pełną automatyzację procesów i znaczne zwiększenie wydajności.

Zalety:

• Konfiguracja napylania dalekiego zasięgu umożliwiająca procesy powlekania bez cząstek zanieczyszczeń
• Konfiguracja Sputter-Up
• Wysokowydajne systemy napylania dwu-magnetronowego AC
• Źródła plazmy RF o długiej żywotności do wstępnego czyszczenia i wspomagania
• Bezpośredni system kontroli optycznej na podłożu I-Photonics OCP
• Planetarny uchwyt umożliwiający montaż podłoża o różnych rozmiarach (200, 250 i 300 mm)