LIDIZ to urządzenia służące do nanoszenia warstw metodą napylania wiązką jonową (Ion Beam Sputtering - IBS). Technologia ta jest dobrze znana ze swoich niezwykle niskich strat optycznych. Systemy LIDIZ IBS reprezentują najnowocześniejsze narzędzia do nanoszenia powłok optycznych z szeroką gamą zastosowań. LIDIZ został zaprojektowany do produkcji cienkich warstw z różnych materiałów z wysoką precyzją o doskonałej jakości.

Unikalny system kontroli procesu optycznego OCP SingleWave oraz OCP BroadBand z optymalizacją w czasie rzeczywistym procesu nanoszenia powłok optycznych umożliwia ścisłą kontrolę złożonych powłok filtracyjnych z wysoką precyzją i powtarzalnością.

Główne cechy:

• Wysokomocowy system IBS z siatką RF do nanoszenia powłok z użyciem neutralizatora RF, zapewniający wysokie prędkości nanoszenia i jakość filmu.
• System IBS z neutralizatorem RF, dla precyzyjnej kontroli stechiometrii oraz umożliwiający oczyszczanie i aktywację podłoża
• Automatyczny system kontroli optycznej OCP umożliwiający różne konfiguracje:
  • OCP Broadband
  • OCP Singlewave
  • OCP Duo z dwoma typami kontroli w jednym systemie
  • OCP Laser
• Wiele rodzajów uchwytów próbek dla zapewnienia maksymalnej elastyczności produktu i dostosowania do potrzeb produkcyjnych