Dzięki zastosowaniu trzech tarcz napylających w jednej platformie system umożliwia kontrolowane i powtarzalne osadzanie cienkich warstw na próbkach o średnicy do 8 cali.

TriQ doskonale sprawdza się w przygotowywaniu próbek do mikroskopii elektronowej, zaawansowanych badaniach materiałowych oraz wytwarzaniu materiałów. Połączenie inteligentnej automatyzacji, zaawansowanej kontroli procesu i przestronnej komory roboczej umożliwia jednoczesną obsługę większej liczby próbek.

Intuicyjny interfejs użytkownika upraszcza obsługę urządzenia, ogranicza konieczność ingerencji operatora i zwiększa efektywność pracy laboratorium. Dzięki temu TriQ stanowi odpowiednie rozwiązanie zarówno do rutynowych procesów napylania, jak i bardziej złożonych procedur osadzania cienkich warstw.

Kluczowe cechy:

• System pompowany pompą turbomolekularną, osiągający próżnię końcową na poziomie 1 × 10^-6  mbar, co umożliwia uzyskiwanie wysokiej jakości powłok.
• Konstrukcja z trzema głowicami napylającymi, zapewniająca równomierne osadzanie cienkich warstw na próbkach o średnicy do 8″.
• Zoptymalizowane stoliki planetarne umożliwiające osadzanie powłok na próbkach o średnicy 6″ i 8″
• Zintegrowany monitor grubości warstwy (FTM – Film Thickness Monitor) umożliwiający kontrolę procesu osadzania powłoki.
• Intuicyjny i responsywny kolorowy panel dotykowy.
• Wielokolorowy wskaźnik LED informujący o aktualnym stanie urządzenia i przebiegu procesu.
• Wstępnie zdefiniowane receptury dla standardowych procedur, zapewniające powtarzalność wyników.
• Możliwość definiowania własnych receptur, pozwalająca użytkownikom dostosować parametry procesu do konkretnych wymagań.
• Kompatybilność z szeroką gamą materiałów tarcz napylających.