SU8600
Skaningowy mikroskop elektronowy Hitachi SU8600 FEG UHR z zimną katodą zapewnia rozdzielczość poniżej 1 nm w całym zakresie dostępnych napięć przyspieszających. Nowe detektory oraz ulepszony interfejs oprogramowania umożliwiają łatwe obrazowanie różnych próbek, nawet przy najwyższych powiększeniach. Mikroskop Hitachi SU8600 FEG SEM znajduje zastosowanie w wielu dziedzinach (nanomateriały, półprzewodniki, polimery, biologia), wymagających najwyższej rozdzielczości. Detektory Upper, Top, IMD w obiektywie zapewniają bardzo precyzyjną regulację elektronów wtórnych i wstecznie rozproszonych w zależności od ich energii i kierunku. Najdrobniejsze szczegóły powierzchni są dzięki temu widoczne bez konieczności metalizowania próbek. Komora mikroskopu jest zaprojektowana tak, by jednocześnie pomieścić liczne urządzenia dodatkowe, takie jak systemy airlock, EDS, WDS, EBSD oraz stolik Cryo.
| Rozdzielczość | 0.6 nm przy 15kV, 0.7 nm przy 1kV |
| Powiększenie | 20x to 2 000 000x |
| Emiter | zimną katoda z emisją polową (CFEG), |
| Napięcie przyspieszające | od 0.5 kV do 30.00 kV |
| Landing voltage | od 0.01 kV do 20 kV |
| Prąd wiązki | do 20 nA |
| Detektory | wewnątrz kolumnowy detektor elektronów wtórnych (UD) z filtrem ExB oraz detektor elektronów wtórnych i wstecznie rozproszonych (LD); opcjonalni: Top detektor (TD), detektor scyntylacyjny lub półprzewodnikowy typu Out-Column BSED (OCD), 5 - segmentowy półprzewodnikowy detektor wstecznie rozproszonych elektronów (PD-BSED) o wysokiej czułości; wewnątrz kolumnowy detektor elektronów wstecznie rozproszonych (IMD), detektor katodoluminescencji (CL), STEM detektor, EDS, EBSD, |
| Stolik | napęd silnikowy w 5-ciu osiach (X/Y/R/Z/T) |
| Maksymalny rozmiar próbki | średnica 150 mm, grubość do 36 mm |
| Maksymalna masa próbki | do 300g |
| Zapisywanie obrazów | 640×480,1.280×960, 2.560×1.920, 5.120×3.840, 10.240×7.680, 20.480×15.360, 40.960×30.720 pixele |
| Funkcje automatyczne | automatyczna regulacja jasności i kontrastu (ABCC), automatyczna kontrola ostrości (AFC), automatyczna kontrola astygmatyzmu i ostrości (ASFC), auto start（HV-ON→ABCC→AFC), automatyczna regulacja osi optycznej |
|
Zintegrowana kamera nawigacyjna |
|
|
Kompatybilność z uchwytem Air Protection |
- Hitachi High-Tech
- Analiza składu chemicznego
- Obrazowanie powierzchni i struktury wewnętrznej
Andrzej WIŚNIEWSKIKarta produktu
Pobierz dokument
przykładowe dostępne produkty producenta
SU8700
SU8700 wprowadza nową erę skaningowych mikroskopów elektronowych o ultra wysokiej rozdzielczości z emisją polową Schottky'ego
SU3800/SU3900
Uniwersalny, skaningowy mikroskop elektronowy wyposażony w wytrzymałą i ekonomiczną katodę wolframową typu hairpin
IM4000II
System frezowania jonowego IM4000II umożliwia frezowanie i polerowanie zarówno powierzchni płaskich, jak i przekrojów poprzecznych, w zależności od przeznaczenia próbek.
ZONETEMII
Innowacyjny urządzenie do czyszczenia próbek ZONETEM II wykorzystuje technologię czyszczenia opartą na promieniowaniu UV w celu zminimalizowania lub wyeliminowania zanieczyszczeń węglowodorowych podczas obrazowania mikroskopem elektronowym.
