System ORBIS™ 1000 firmy memsstar wyposażony w śluzę załadowczą z ręcznym załadunkiem świetnie sprawdzi się w małoseryjnej produkcji układów MEMS. Wraz ze zwiększeniem produkcji moduł może zostać przebudowany w pełni automatyczny model 3000 przy zachowaniu optymalnych parametrów procesu wytrawiania.

Główne cechy systemu:

• Kompaktowa konstrukcja
• Możliwość pracy w clean-roomach
• Wysoka powtarzalność wyników
• Łatwa konserwacja
• Wsparcie procesowe firmy memsstar