Platforma ORBIS 3000 firmy memsstar zapewnia zautomatyzowaną obsługę podłoży i możliwość klastrowania, co pozwala na dowolną kombinację modułów procesowych XERIC™ (trawienie) lub AURIX™ (wytwarzanie warstw SAM) do maksymalnie trzech. Sprawdzony w produkcji wielkoseryjnej, nowy ORBIS 3000 umożliwia korzystanie z najbardziej zaawansowanych możliwości procesowych.

Główne cechy systemu:

• Kompaktowa konstrukcja
• Możliwość pracy w clean-roomach
• Wysoka powtarzalność wyników
• Łatwa konserwacja
• Wsparcie procesowe firmy memsstar