AURORA to systemy próżniowe do masowej produkcji o układzie pionowym, bazujące na napylaniu w polu magnetycznym (magnetron sputtering deposition). Główną cechą wyróżniającą ten system jest jego pionowa konstrukcja załadunku substratów. Podłoża są umieszczane na przenośniku transportowym, poruszającym się wzdłuż urządzenia, przechodząc przez kolejne etapy próżni i korytarzy procesowych, z możliwością zawrócenia lub zmiany komory lub powrotu do ciśnienia atmosferycznego w celu rozładowania powleczonych podłoży.

Zalety:

• Oszczędność miejsca
• Możliwość zorganizowania próżniowego toru powrotnego i jego wykorzystania do urządzeń technologicznych.
• Możliwość przeprowadzenia powlekania dwustronnego.
• Wydłużony średni okres między konserwacjami (MTBM).
• Stabilność procesu dzięki utrzymaniu stałej próżni i warunków gazu roboczego.

Czas trwania cyklu - pomiędzy załadunkiem, a rozładunkiem - 45s (najkrótszy)

Dostępne procesy powlekania

Struktura modularna pozwala na produkcję różnych warstw filmów (ilość warstw) o różnych czasach cyklu poprzez instalację dodatkowych komór z stacjami rozpylania. Główne procesy realizowane w urządzeniach AURORA:

• Struktury ITO oraz TCO
• Dopasowywane indeksowo ITO dla ekranów dotykowych
• Powłoki antyrefleksyjna na szkle ochronnym (AR)
• Powłoki AR oraz AF (anti-fingerprint)
• Powłoki kolorowe NCVM na szkle i podłożach plastikowych (PET)
• Powłoki metalizacyjne

Jednym z głównych atutów urządzeń liniowych jest wyjątkowa stabilność procesu. Została ona osiągnięta nie tylko dzięki ustandaryzowaniu parametrów i ich kontroli, ale także dzięki  zaprojektowaniu systemu transportowego, który porusza nośnikami z zerową przerwą pomiędzy nimi, gdy osiągają stacje rozpylania. To rozwiązanie pomogło konsekwentnie ustabilizować warunki plazmy i uczynić proces niezawodnym i powtarzalnym, zapewniając wysoką jakość powłok.