SU9600 wprowadza nową erę skaningowych mikroskopów elektronowych (SEM) o ultra-wysokiej rozdzielczości z zimną emisją polową (CFE). Obserwacja morfologii w skali nanometrowej ma kluczowe znaczenie ze względu na tendencję do zmniejszania rozmiarów elementów w urządzeniach półprzewodnikowych oraz rozwój zaawansowanych materiałów. W związku z tym firma Hitachi High-Tech opracowała skaningowy mikroskop elektronowy SU9600, który umożliwia obserwacje w skali poniżej nanometra. Nowy system SU9600 zachowuje najwyższą na świecie rozdzielczość wynoszącą 0,4 nm przy 30 kV. Charakteryzuje się również wysoką wydajnością i stabilnością, co czyni go potężnym narzędziem do badań i charakteryzacji materiałów nowej generacji.

• SE rozdzielczość – 0.4 nm przy 30kV, 0.6 nm przy 1kV,
• STEM rozdzielczość – 0.34 nm przy 30kV,
• powiększenie – 80x to 3 000 000x,
• emiter – zimną katoda z emisją polową (CFEG),
• napięcie przyspieszające – od 0.5 kV do 30.00 kV, 
• landing voltage – od 0.01 kV do 20 kV
• prąd wiązki – do 20 nA
• detektory – wewnątrz kolumnowy detektor elektronów wtórnych (UD) z filtrem ExB z możliwością mieszania sygnałów SE/BSE; opcjonalni:  top detektor (TD), detektor scyntylacyjny BSE (VCD), BF/DF Duo-STEM detektor, EELS detector, EDS, 
• stolik – napęd silnikowy w 4-ch osiach (X/Y /Z/T), 
• maksymalny rozmiar próbki – 5.0 mm × 9.5 mm × 3.5 mm (H), 
• zapisywanie obrazów – 640×480,1.280×960, 2.560×1.920, 5.120×3.840, 10.240×7.680, 20.480×15.360, 40.960×30.720 pixele,
• funkcje automatyczne – automatyczna regulacja jasności i kontrastu (ABCC), automatyczna kontrola ostrości (AFC), automatyczna kontrola astygmatyzmu i ostrości (ASFC), auto start（HV-ON→ABCC→AFC), automatyczna regulacja osi optycznej